近日，我校前沿院材料原子·分子科學研究所許并社教授團隊韓斌副教授在材料領域國際頂級期刊《先進功能材料》（Advanced Functional Materials，影響因子19.924）發表題為“Transparent and Reusable Nanostencil Lithography for Organic-Inorganic Hybrid Perovskite Nanodevices”（透明可重復使用納米掩膜光刻技術用于有機-無機雜化鈣鈦礦納米器件的制備）的高水平論文。韓斌副教授為該論文的第一作者兼通訊作者，陜西科技大學為第一通訊單位，香港城市大學為共同通訊單位。該論文的發表標志著我校在微納器件研究方面的重大突破，極大地提高了我校在半導體材料及器件領域的國際影響力。
透明納米掩膜光刻技術流程示意圖及器件實例
有機-無機雜化鈣鈦礦因其卓越的光學特性而備受關注，可用于開發新型光電器件。然而，用于制備雜化鈣鈦礦器件的光刻技術仍面臨巨大的挑戰。這主要是因為雜化鈣鈦礦材料在丙酮、水等光刻溶劑中極易受到損壞，因此傳統光刻技術無法與雜化鈣鈦礦材料兼容。韓斌副教授帶領研究生劉博、王光輝、邱琪等人經過三年的努力，攻克了雜化鈣鈦礦納米器件制造的難題，開發了一種與雜化鈣鈦礦完美兼容的新型聚焦離子束（FIB）輔助透明納米掩膜光刻技術。該技術能夠實現100納米的超高光刻分辨率，并且可以實現精準的掩模板對準。此外，該掩膜版可以重復使用十多次，極大地降低了器件制造成本。該技術的開發將有助于雜化鈣鈦礦新型器件的開發以及器件的微型化和集成化。
新聞小貼士：
韓斌博士2017年畢業于日本東北大學金屬材料研究所，2017-2019年在香港城市大學從事博士后工作。2019年以陜西科技大學“青年拔尖人才”引進我校，加盟許并社教授團隊。韓斌博士主要依托陜西科技大學的微納加工平臺-聚焦離子束（JEOL JIB-4700F），開展新型半導體材料及其微納器件的研究。
論文詳細信息：Bin Han, Bo Liu, Guanghui Wang, Qi Qiu, Zhe Wang, Yuying Xi, Yanxia Cui, Shufang Ma, Bingshe Xu, and Hsien-Yi Hsu,“Transparent and Reusable Nanostencil Lithography for Organic-Inorganic Hybrid Perovskite Nanodevices”Advanced Functional Materials,2023, 2300570. (DOI:10.1002/adfm.202300570)
（核稿：強濤濤 編輯：劉倩）
陜公網安備 61011202000334號
